エア・ウォーター、Ｒａｐｉｄｕｓ社の最先端半導体工場向け「ＣＭＰスラリー調合・供給システム」を受注
- 2024/8/26 14:06
- ＩＲ企業情報
■半導体製造の自動化・安定供給を支援
エア・ウォーター＜４０８８＞（東証プライム）は８月２６日、Ｒａｐｉｄｕｓが北海道千歳市に建設中の最先端半導体工場「ＩＩＭ－１」向けに、「ＣＭＰスラリー調合・供給システム」を受注したと発表。このシステムは、スラリーの濃度や粒子径を高精度に調合し、安定的に供給する機能を持つ。２００６年から米国企業との提携に基づく技術を活かして設計・製造され、多数の実績を持つ。
今回の受注は、半導体工場向け供給システムの導入実績と、自動化技術を組み合わせた安定供給体制が評価されたものである。ＲａｐｉｄｕｓのＩＩＭ－１は、ＡＩや自動運転に必要な２ｎｍ以下の最先端ロジック半導体を製造する施設であり、２０２５年４月にはパイロットラインの稼働、２０２７年には量産を開始する予定である。
エア・ウォーターは今回の受注を機に、国内の半導体工場向けに供給システムやソリューション提案をさらに推進し、半導体製造の自動化、省人化、安定操業に寄与していく方針である。（情報提供：日本インタビュ新聞社・株式投資情報編集部）
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